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量子效率 產(chǎn)品中心 · 光束質(zhì)量分析儀
Dataray @ BeamMap2狹縫掃描式光束質(zhì)量分析儀
產(chǎn)品負(fù)責(zé)人
姓名：李工
電話：0431-85916189
郵箱：info@china-quantum.com
DataRay的BeamMap2代表了一種完全不同的實(shí)時光束分析方法。 它通過允許沿光束行程的多個位置進(jìn)行測量，擴(kuò)展了Beam'R2的測量功能。 這種實(shí)時狹縫掃描系統(tǒng)在旋轉(zhuǎn)圓盤上的多個z平面中使用XY狹縫對，以同時測量四個不同z位置處的四個光束輪廓。
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?產(chǎn)品特點(diǎn)：
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· 190至1150 nm，Si探測器
· 650至1800 nm，InGaAs探測器
· 1000至2300或2500 nm，InGaAs（擴(kuò)展）探測器
· 提供多種平面間距選項(xiàng)
· 光束直徑為5μm至4mm
· 端口供電，USB2.0，靈活的3米電纜，沒有電源磚
· 0.1μm的采樣和分辨率
· 線性和對數(shù)X-Y輪廓
· 輪廓縮放和狹縫寬度補(bǔ)償
· 實(shí)時多Z平面掃描狹縫系統(tǒng)
· 實(shí)時 XYZ輪廓，焦點(diǎn)位置
· 實(shí)時M2、發(fā)散、準(zhǔn)直、對準(zhǔn)
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產(chǎn)品參數(shù)：
產(chǎn)品參數(shù) | ? |
波長 | Si detector: 190 to 1150 nm |
掃描光束直徑 | Si detector: 5 μm to 4 mm, to 2 μm in Knife-Edge mode* |
平面間距（4XYmodels） | 100 μm: -100, 0, +100, +400 μm |
平面間距(3XYKE models) | 50 μm: -50, 0, +50, 0 μm |
束腰直徑測量 | Second moment (4s) diameter to ISO 11146; Fitted Gaussian & TopHat |
束腰位置測量 | 在 X、Y 和 Z 方向上 ± 20 μm 最佳 |
測量源 | 連續(xù)波；脈沖激光，F μm = [500/(PRR in kHz)] |
分辨率精度 | 0.1μm或掃描范圍的 0.05%±<2%±= 0.5 μm |
M2?測量 | 1 to > 20, ± 5% |
發(fā)散/準(zhǔn)直，指向 | 1 mrad最好 |
最大功率和輻照度 | 1 W Total & 0.5 mW/μm2 |
增益范圍 | 1,000:1 Switched 4,096:1 ADC range |
顯示圖形 | X-Y-Z Position & Profiles, Zoom x1 to x16 |
更新率 | ~5 Hz |
平均 | 用戶可選擇運(yùn)行平均值（1 到 8 個樣本） |
最低電腦要求 | Windows, 2 GB RAM, USB 2.0/3.0 port |
* Knife-Edge mode需要 3XYKE?型號
產(chǎn)品選擇：
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? | Beam’R2 | BeamMap2 |
主要特征 | 集成X和Y輪廓 | 實(shí)時 XYZθΦ 測量和焦點(diǎn)查找 實(shí)時指向、發(fā)散和M2?測量 |
接口 | USB 2.0 Port-powered | |
CW or Pulsed? | CW，脈沖最小 PRR（Si 探測器）≈ [500/（激光直徑μm）] kHz | |
波長 | Si:190-1150 nm InGaAs:650-1800 nm Si+InGaAs:190-1800nm Si+InGaAs,extended:190-2500nm | |
X-Y-Z Profiles, plus Θ-Φ | N/A | 是 |
最佳分辨率 | 0.1 μm | |
最小光束 | 2 μm (Knife Edge mode) | |
更新率 | 5 Hz real-time (adjustable 2-10 Hz) | |
M2?測量 | Yes - with M2DU-BR accessory | Yes - real-time |
定位焦點(diǎn) | Yes - with M2DU-BR accessory | Yes - real-time |
指向/發(fā)散 | Yes - with M2DU-BR accessory | Yes - real-time |
開關(guān)增益（選項(xiàng) dB） | 32 dB | |
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參數(shù) | 參數(shù)值 | BeamMap2 | Beam'R2 | Comments |
波長可選范圍（nm） | 190-1150, 650-1800, 190-1800, 190-2500 | Yes | Yes | Si, InGaAs, Si + InGaAs, |
被掃描光束直徑 | 2?μm to 4 mm (2 mm for IGA-X.X) | Yes | Yes | Si + InGaAs, extended |
X-Y?輪廓及中心分辨率： | 0.1?μm?或者?0.05%?的掃描范圍 | Yes | Yes | ? |
精度: | ±?<2%?± ≤0.5μm | Yes | Yes | ? |
CW or Pulsed | 連續(xù)/脈沖 最小PRR?≈?[500/(激光直徑μm)]kHz | Yes | Yes | ? |
光束對準(zhǔn)準(zhǔn)直 | ±?1 mrad with BeamMap2 Colli Mate | Yes | - | ? |
M2?測量 | 1 to >20,?±?5% | Yes | - | Beam Dependent |
實(shí)時更新 | 5 Hz | Yes | Yes | 4 Z-plane hyperbolic fit |
最大功率＆輻照度 | 1 W Total & 0.3 mW/μm2 | Yes | Yes | Adjustable 2-12 Hz |
增益范圍： | 32dB | Yes | Yes | Metallic film on Sapphire slits |
